コーター

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コーターとは、次のようなものに何かを塗布するための機器を指す。

1. 材料に薬品を塗布するための機器。
2. 半導体製造装置の1つで、ガラス基板やシリコンなどのウェハーにレジストをナノ単位で極めて均一に塗布するための装置。主に材料をバキュームチャックして回転させ、遠心力によってレジストを均一に伸ばすスピン式が用いられるが、液晶のガラス基板用は近年のパネルサイズの大型化によってスピンが困難になりつつあるためスピンレス式も登場している。

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• 東京エレクトロン社製コータ/デベロッパ

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