真空計
真空計の最新ニュースをまとめて検索！
真空計（しんくうけい、vacuum gauge）は、真空の圧力を測るための装置である。
真空計は大気圧以下の圧力を測定する計器である。 真空計は一般に圧力差を利用する差圧真空計と物理量により圧力を測定する絶対圧真空計に分けられる。但し、測定する対象を単なる圧力とするか、成分とするかで全圧真空計と分圧真空計に分類される場合もある。
全圧真空計は環境（チャンバ内）の圧力のみを測定する。 分圧真空計は環境（チャンバ内）の気体成分の分子量毎に圧力を測定するために使用される。
低真空の測定に使われる、水銀などを入れたガラス管からなる装置はマノメーター (manometer) とも呼ばれる。
目次 |
[編集] 種類
[編集] 全圧真空計
[編集] 分圧真空計
- 高周波形質量分析計
- 四極子形質量分析計
- 単極子形質量分析計
- 磁界偏向形質量分析計
- 二重収束形質量分析計
- トロコイド形質量分析計
- オメガトロン形質量分析計
- 飛行時間形質量分析計
[編集] 関連項目
フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 Text is available under GNU Free Documentation License.
