真空装置

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真空装置（しんくうそうち）は真空状態の持つ特性を利用した装置、機器である。主に特性により分類すると下記のように分類できる。

• 主に真空の清浄性、物理特性を利用した物。
  • プラズマ成膜装置、ドライエッチング装置
  • スパッタリング装置、ブラウン管テレビ
  • 真空焼結装置など。
• 主に物理特性を利用した物。
  • 液晶注入装置、真空搬送装置、真空凍結装置など。

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